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专利
  • [发明专利]CN201410059475.8 _ 上海大学 2014年02月21日
    本发明公开了一种基于微流体芯片的多种纳米线阵列水力聚焦组装方法,通过调整鞘流和纳米线溶液流的流速、组装时间、成分,在微流体芯片表面获得多条平行的多种纳米线阵列;在水力聚焦作用下,进入微流体芯片的纳米线溶液流会被鞘流以预定尺寸聚焦到预定位置。本发明方法通过微流...
  • [发明专利]CN201610016345.5 _ 北京科技大学 2016年01月11日
    本发明涉及一种微纳器件及其制备方法,该微纳器件包括:基片;在所述基片上沉积的ZnO纳米层;在所述ZnO纳米层上自组装合成的石墨烯量子点以及在所述ZnO纳米层上自组装合成的石墨烯量子点的基片上进一步光催化降解合成的纳米Au胶体。该微纳器件性能优异、成本低廉,可应用于有罗丹...
  • [发明专利]CN201611242619.9 _ 上海集成电路研发中心有限公司 2016年12月29日
    一种采用湿法腐蚀工艺制作MEMS器件的方法,用于改善MEMS器件牺牲层释放工艺中的结构损伤,包括将硅片放置在湿法设备工艺腔中的工艺平台上,并随工艺平台一起旋转;将湿法刻蚀药液从硅片上方喷淋到硅片表面进行刻蚀工艺,其中湿法刻蚀药液由HF和与HF互溶的有机溶剂混合而成;将第...
  • [发明专利]CN201610430265.4 _ 合肥工业大学 2016年06月15日
    本发明公开一种在铜基底上制备微同轴金属结构的方法,先在铜基底上涂覆负性光刻胶,将负性光刻胶层在掩膜板下用紫外光曝光显影得到金属底层的胶膜结构后微电铸,得到金属底层;在金属底层上涂覆光刻胶并光刻显影,得支撑体,并在其上涂覆负性光刻胶并光刻、显影、微电铸铜,获得金...
  • [发明专利]CN201810081118.X _ 吉林大学 2018年01月29日
    一种酸碱响应的各向异性浸润不对称硅纳米圆柱阵列的制备方法,属于材料科学技术领域。本发明结合界面自组装和胶体晶体刻蚀的方法,在硅基底表面制备出六方非紧密堆积的纳米圆柱阵列,通过不对称地在柱阵列的左右两侧修饰酸碱响应功能基团,我们实现了诱导强酸强碱沿着不同方向...
  • [发明专利]CN201610382074.5 _ 武汉理工大学 2016年06月01日
    本发明涉及一种热解碳/二硫化钼纳米片/石墨烯复合材料图案化微电极的微加工工艺,包括:1)将石墨烯、二钼酸钠、硫脲、按1~10:400:600~700:10000~30000的质量比混合均匀后,在反应釜中进行热合成反应,热合成反应完毕后经过离心,干燥得到固体产物,将固体产物研磨,得到二硫...
  • [发明专利]CN201611018695.1 _ 大连理工大学 2016年11月14日
    本发明公开了一种基于雾化颗粒的溶解微纳加工装置,包括加压夹持单元、供雾扩散单元和风淋加工单元;所述的风淋加工单元位于加压夹持单元与供雾扩散单元之间。本发明采用漏斗形收集构件与加工介质扩散腔相配合的方式使得在传输过程中形成的大尺度液滴得到了有效的回收,避免...
  • [发明专利]CN201610647207.7 _ 福建师范大学 2016年08月09日
    本发明涉及感光凝胶技术领域,特别涉及一种微电极阵列的制备方法。包括以下步骤:步骤1:将正硅酸乙酯和无乙醇混合搅拌20‑40min,加入1,10‑菲啰啉、去离子和盐酸,继续搅拌2‑3h,陈化24‑48h,得到二氧化硅感光溶胶;上述添加试剂的摩尔比为正硅酸乙酯:无乙醇:1,10‑菲啰啉:去离...
  • [发明专利]CN201610498638.1 _ 天津大学 2016年06月29日
    本发明公开了一种一维硅纳米线阵列气敏传感器的制备方法,包括硅基片的清洗、排列纳米小球、组装模板、制备硅纳米线、制备一维硅纳米线阵列气敏传感器元件的步骤;本发明的一维硅纳米线阵列气敏传感器的制备方法所得的气敏传感器,形成具有较大比表面积和气体扩散通道的结构。并且...
  • [发明专利]CN201611194612.4 _ 吉林大学 2016年12月22日
    一种基于表面等离子体共振诱导化学反应制备的具有纳米孔中包含银纳米粒子复合结构的表面增强拉曼基底及其制备方法,属于表面增强拉曼基底技术领域。本发明涉及到掩模刻蚀方法、物理气相沉积方法以及一些组织方面的方法。操作简便,过程低耗清洁,可控性高。由于金纳米二维孔中银...
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