新型CMOS栅极堆栈结构及材料--21世纪对微电子工业的巨大挑战

母体文献: 中国科协第三届青年学术年会论文集
会议名称: 中国科协第三届青年学术年会
会议时间: 1998年8月20日
会议地点: 北京
主办单位: 中国科学技术协会
语 种: chi
分类号: TP3
在线出版日期: 2001年12月8日