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专利
  • [发明专利]CN201780096592.3 _ 应用材料公司 2017年11月15日
    根据第一方面,本公开内容提供了一种用于热处理基板的设备,所述设备包含至少一个加热元件和至少一个挡板,其中至少一个挡板可在基板与至少一个加热元件之间的第一位置与第二位置之间移动,并且至少一个挡板包含至少一个反射表面。根据另一方面,本公开内容提供了一种用于运输柔...
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