高纯没食子酸的研制及其在电子工业中的应用

电子化学品,一般是指为电子工业配套的专用化学品,目前品种已达上万种,具有质量要求高、用量少、对生产及使用环境洁净度要求高和产品更新换代快等特点,电子工业的发展离不开电子化学品的发展. 超净高纯化学试剂(亦称湿化学品Wet Chemicals,或加工化学品Process Chemicals),也是电子化学品中非常重要的一员,主要用于芯片的洗净(包括干燥)、光刻、蚀刻、显影、去膜、掺杂等,涉及到80多种专用化学品,自供量仅10﹪左右,其余主要靠进口.这种试剂包括超净高纯酸及碱类、超净高纯有机溶剂和超净高纯蚀刻剂.这里为大家重点推介这个家族的新产品--高纯没食子酸.

作者: 杨顺楷 杨亚力
作者单位: 中国科学院成都生物研究所应用与环境微生物研究中心
母体文献: 2006全国电子化学品发展研讨会论文集
会议名称: 2006全国电子化学品发展研讨会
会议时间: 2006年6月1日
会议地点: 江苏无锡
主办单位: 中国精细化工协会,中国电子材料行业协会
语 种: chi
在线出版日期: 2007年4月29日