大平面阴极靶磁控溅射铁磁性材料薄膜的研究

作者: 戴法震
作者单位: 建筑材料科学研究院玻璃科学与特种玻璃纤维研究所
母体文献: 全国江膜学术讨论会会议论文集
会议名称: 全国薄膜学术讨论会
会议时间: 1999年10月1日
会议地点: 上海
主办单位: 中国真空学会,中国电子学会,中国光学学会,中国物理学会,中国机械工程学会,中国仪器仪表学会,中国材料研究会
语 种: chi
在线出版日期: 2001年12月8日