Micro-Raman光谱鉴定碳化硅单晶的多型结构

利用激光拉曼光谱仪测量了SiC单晶中不同多型的显微Raman光谱.在Raman光谱中,最大强度的FTA模和FTO模应出现在其简约波矢x等于该多型的六角度h处,据此对4H-SiC单晶中的多型进行了鉴定.同时采用高分辨X射线衍射测量了该晶片不同区域的摇摆曲线,将不同多型体的计算衍射角与实验值加以比较,对SiC晶片中的多型进行了标注,所得结论与激光Raman光谱测定结果相一致,说明Raman光谱是一种简单、快速地鉴定多型结构的强有力的工具.实验结果表明,在升华法生长4H-SiC单晶过程中,容易出现寄生6H、15R多型同4H多型的竞争生长,简单分析了寄生多型产生的原因.

作者单位: 山东大学晶体材料国家重点实验室(山东济南)
母体文献: 第五届中国功能材料及其学术会议论文集Ⅲ 第35卷增刊
会议名称: 第五届中国功能材料及其学术会议
会议时间: 2004年8月1日
会议地点: 秦皇岛
主办单位: 中国仪器仪表学会,中国金属学会,中国稀土学会,中国复合材料学会,中国有色金属学会
语 种: chi
在线出版日期: 2005年10月26日