第三代半导体材料应用及制造工艺概况
Application and Manufacturing Process Summary of the Third Generation Semiconductor Materials
摘要 对当前的第三代半导体材料的基本特性及应用领域进行研究,报告了SiC和GaN材料的应用现状和发展趋势,并对其制造工艺进行了简要阐述.
Author: LIU Bin YANG Yuanyuan WANG Donghui ZHAN Yang
作者单位: 中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京,100176
年,卷(期): 2016, 45(1)
分类号: TN304.1
机标分类号: TQ1 TN3
在线出版日期: 2016年4月18日