SOI高温压力传感器的研究现状
The Research Status of SOI High-temperature Pressure Sensor
摘要 sOI(silicon on insulator)高温压力传感器是一种新型的半导体高温压力传感器,具有耐高温、抗辐射、稳定性好等优点,能够解决石油、汽车、航空、航天等领域对高温压力传感器的迫切需求,在高温领域有很大的潜力.本文论述了SOI材料的制备方法-特别是硅片直接键合技术(SDB),简单介绍了SOI压力传感器的优势、制作工艺以及SOI压力传感器的发展现状.
Author: ZHANG Shu-yu ZHANG Wei-lian ZHANG Sheng-cai YAO Su-ying
作者单位: 河北工业大学,半导体材料研究所,天津,300130 天津大学,微电子研究所,天津,300072
刊 名 河北工业大学学报 ISTICPKU
年,卷(期): 2005, 34(2)
分类号: TP212
机标分类号: TN3 TP2
在线出版日期: 2005年5月19日