大直径FZSi中的微缺陷研究
Study on the Micro-defects in Large Size FZSi
摘要 经过化学-机械抛光后,用常规的检验旋涡缺陷的方法没有观察到旋涡缺陷的FZSi片,用高温热氧化法有时则可以观察到明显的旋涡状分布的条纹图形.使用FTIR、XPS、 SEM能谱分析等手段的测量结果表明,这种旋涡状分布的图形与晶体中的掺杂剂(磷、硼)和杂质氧、碳以及重金属杂质没有明显的依赖关系,它是硅中点缺陷在晶体径向截面上呈不均匀条纹状分布的结果.本文对大直径FZSi中的旋涡缺陷的形成机理和消除方法进行了初步的探讨.
作者单位: 河北工业大学半导体材料研究所,天津,300130 天津半导体材料厂,天津,300130
刊 名 人工晶体学报 ISTICEIPKU
年,卷(期): 2002, 31(6)
分类号: O77
机标分类号: TN3 TB4
在线出版日期: 2004年1月8日
基金项目: 河北省自然科学基金