钢表面纳米、亚微米尺度薄膜 元素深度分布的定量测定 辉光放电原子发射光谱法
Nano, Sub-micron scale film on steel - Quantitative depth profile analysis - Glow discharge atomic emission spectrometry
摘要: 本标准采用辉光放电原子发射光谱法用于定量测定钢表面纳米、亚微米尺度薄膜(金属镀膜和氧化膜)中膜厚、镀层质量(单位面积)和薄膜中的元素深度分布。  本方法适用于测定3nm ~1000nm厚度的钢表面薄膜,适用的元素包括:铁、铬、镍、铜、钛、锰、铝、碳、磷、氧、氮和硅。
标准编号: GB/T 22462-2008
发布单位: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期: 2008年10月30日
状态: 现行
强制性标准:
实施日期: 2009年6月1日
开本页数: 16
中国标准分类号:
G G04
化工综合
国际标准分类号: 17 17.180