表面化学分析 X射线光电子能谱仪 能量标尺的校准
Surface chemical analysis − X-ray photoelectron spectrometers − Calibration of energy scales
摘要: 本标准规定了一种用于一般分析目的时校准X射线光电子能谱仪结合能标尺的方法,该谱仪使用非单色化A1或MgX射线或单色化A1X射线。它仅适于带有溅射清洁用的离子枪的仪器。本标准还进一步规定了一种方法,用以建立校准程序、在中间某一能量值测试结合能标尺线性度、在高低结合能区各取一点确认标尺校准的不确定度、对标尺的小漂移作修正以及规定在95%置信度时该结合能标尺校准的扩展不确定度。这个不确定度包括来自实验室际研究中观察到的现象的贡献,但不涵盖所有可能发生的缺陷。本标准不适用有下述情况的仪器:结合能标尺的误差随能量明显非线性变化、工作在固定减速比模式且减速比小于10、谱仪的分辨率差于1.5eV或者要求公差极限为±0.03eV或更小。本标准不提供全标尺校准检验,该检验要对每一个在能量标尺上能找到的点加以验证,必须按仪器制造商的推荐程序进行。
标准编号: GB/T 22571-2008
发布单位: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期: 2008年12月11日
状态: 作废
强制性标准:
实施日期: 2009年10月1日
开本页数: 26
采用关系: ISO 15472:2001
中国标准分类号:
G G04
化工综合
国际标准分类号: 71 71.040.40