硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法
Test method for the oxygen concentration in silicon materials—Inert gas fusion infrared detection method
摘要: 标准规定了采用惰性气体熔融及红外技术测试硅材料中氧含量的方法。本标准适用于不同导电类型、不同电阻率范围的硅单晶、多晶硅中氧含量的测试测试范围为2.5×10<sup>15</sup>cm<sup>-3</sup>(0.05ppma)~2.5×10cm<sup>-3</sup>(50ppma)。
标准编号: GB/T 38976-2020
发布单位: 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
发布日期: 2020年7月21日
状态: 未生效
强制性标准:
实施日期: 2021年6月1日
开本页数: 7
中国标准分类号:
H H17
金属化学分析方法
国际标准分类号: 77 77.040