PVTSiC76SI1-BP01型碳化硅单晶抛光片规范
Specification for pllished mono-crystallinesilicon carbide wafers of PVTSiC76SI1-BP01
摘要: 本规范规定了PVTSiC76SI1-BPO1型碳化硅单晶抛光片要求、质量保证规定及交货准备等。本规范适用于PUTSiC76SI1-BPOl型碳化硅单晶抛光片(以下简称碳化硅品片)。
标准编号: SJ 21122-2016
发布日期: 2016年1月19日
状态: 现行
强制性标准:
实施日期: 2016年3月1日
开本页数: 28
中国标准分类号: