6 英寸碳化硅单晶抛光片
6 inch polished monocrystalline silicon carbide wafers
摘要: 本标准规定了6 英寸4H 及6H 碳化硅单晶抛光片的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于6 英寸4H 及6H 碳化硅单晶研磨片经单面或双面抛光后制备的碳化硅抛光片。产品作为衬底材料主要用于制作半导体照明、电力电子器件及微波器件。
标准编号: T/IAWBS 005-2018
发布日期: 2018年12月6日
状态: 现行
强制性标准:
实施日期: 2018年12月17日
开本页数: 0
中国标准分类号:
国际标准分类号: 29 29.045