碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法
Detection method for measuring the surface Detection method for measuring the surface quality and micropipe densityof polished monocrystalline silicon carbide wafers-Laser Scattering Method
摘要: 本标准规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的表面质量和微管密度的测试方法-激光散射测试法。本标准适应于4H及6H碳化硅单晶抛光后制备的碳化硅单晶抛光片。
标准编号: T/IAWBS 010-2019
发布日期: 2019年12月27日
状态: 现行
强制性标准:
实施日期: 2019年12月31日
开本页数: 0
中国标准分类号:
国际标准分类号: 29 29.045