碳化硅单晶
Monocrystalline Silicon Carbide
摘要: 本标准规定了4H及6H碳化硅单晶必要的相关术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于物理气相传输法制备的4H及6H碳化硅单晶。
标准编号: T/ZSA 72-2019
发布日期: 2019年12月31日
状态: 现行
强制性标准:
实施日期: 2020年3月1日
开本页数: 0
中国标准分类号:
H80 H84
半金属与半导体材料
国际标准分类号: 29 29.045