直流辉光放电正柱区及阴极鞘层区的模拟研究
该文依据目前等离子体理论模拟计算中的三种主要方法,分别进行了氢辉光放电正柱区的动力学模拟、氮辉光放电阴极鞘层区的氮离子输运过程流体力学模拟以及此过程氮离子能量分布和角度分布的MonteCarlo模拟研究.
作者: 黄俊卿
学科专业: 应用化学
授予学位: 硕士
学位授予单位: 大连理工大学
导师姓名: 杨学锋 王德真
学位年度: 2001
语 种: chi
分类号: O539
在线出版日期: 2013年11月29日