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    GB/T 37466-2019 - 中外标准 - - 2019/6 - 现行
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    GB/T 36646-2018 - 中外标准 - - 2018/9 - 现行
    本标准规定了制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备(以下简称“HVPE设备”)的产品分类和标记、工作条件、要求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。本标准适用于制备直径50.8 mm~152.4 mm氮化物半导体材料的HVPE设备。
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    GB/T 32652-2016 - 中外标准 - - 2016/4 - 现行
    本标准规定了多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料的技术要求、检验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于太阳能级多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料。
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    GB/T 31469-2015 - 中外标准 - - 2015/5 - 现行
    本标准规定了半导体材料切削液的各项技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、储存及运输等要求。 本标准适用于半导体材料线切割加工采用的切削液。
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    GB/T 37406-2019 - 中外标准 - - 2019/5 - 现行
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    GB/T 36655-2018 - 中外标准 - - 2018/9 - 现行
    本标准规定了电子封装用球形二氧化硅微粉中α态晶体二氧化硅含量的XRD测试方法。本标准适用于电子封装用球形二氧化硅微粉中检测a态晶体二氧化硅含量,其他无定形二氧化硅含量的检测也可参照本标准执行。α态晶体二氧化硅含量测试范围0.5%以下半定量分析,0.5%~5%定量分析。
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    GB/T 32649-2016 - 中外标准 - - 2016/4 - 现行
    本标准规定了光伏用高纯石英砂的技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于光伏用高纯石英砂,产品用于多晶硅、单晶硅光伏生产用的扩散管、承载器及电弧法坩埚等石英制品。
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    GB/T 32650-2016 - 中外标准 - - 2016/4 - 现行
    本标准规定了石英砂中铝、钙、铁、钠、钾、锂、镁、铬、镍、硼、锰、铜、钦痕量元素的测定方法。 本标准适用于石英砂中铝、钙、铁、钠、钾、锂、镁、铬、镍、硼、锰、铜、钛痕量元素含量的测定。其他元素含量的测定可参照本标准执行。
  • SJ/T 3228.8-2016 - 中外标准 - - 2016/1 - 现行
    本标准规定了高纯石英砂中铝含量的测定方法,包括比色法和石墨炉原子吸收光谱法。
  • SJ/T 3228.7-2016 - 中外标准 - - 2016/1 - 现行
    本标准规定了高纯石英砂中铬含量的测定方法,包括比色法和石墨炉原子吸收光谱法。本部分适用于高纯石英砂中铬含量的测定。
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