半导体材料的华丽家族--氮化镓基材料简介
EXOTIC FAMILY OF SEMICONDUCTOR MATERIALS-BRIEF INTRODUCTION TO GaN BASED MATERIALS
摘要 GaN基氮化物材料已成功地用于制备蓝、绿、紫外光发光器件,日光盲紫外探测器以及高温、大功率微波电子器件.由于该材料具有大的禁带宽度、高的压电和热电系数,它们还有很强的其他应用潜力,诸如做非挥发存储器以及利用压电和热电效应的电子器件等.在20世纪80年代末和90年代初,在GaN基氮化物材料的生长工艺上的突破引发了90年代GaN基器件,特别是光电子和高温、大功率微波器件方面的迅猛发展.文章评述了GaN基氮化物的材料特性、生长技术和相关器件应用.
作者: 孙殿照
作者单位: 中国科学院半导体研究所材料中心
刊 名 物理 ISTICPKU
Journal PHYSICS
年,卷(期): 2001, 30(7)
分类号: TN3
机标分类号: TN3 TS5
在线出版日期: 2004年1月8日