多孔硅制备、形成机理及以多孔硅为衬底的赋能低温减压光CVD研究
作者: 李晓天
学科专业: 半导体材料
授予学位: 硕士
学位授予单位: 吉林大学
导师姓名: 刘明登 徐宝琨
学位年度: 1992
语 种: chi
分类号: O613.72 O646.7