P<111>硅片氧化雾缺陷的消除及形成机理
作者: 唐健
学科专业: 半导体材料
授予学位: 硕士
学位授予单位: 河北工学院 河北工业大学
导师姓名: 徐岳生
学位年度: 1992
语 种: chi
分类号: TN305.2